渦輪分子泵的使用要點

2022/11/01

1、不能在前級泵工作時(前級管路接通)和真空室處于真空狀態時將渦輪分子泵停掉，否則將會使油蒸氣迅速從前級管路返流到泵的清潔端。

2、分子泵系統在停機充干燥氣體前，一定要先將分子泵冷卻水關閉，且要從泵的高真空端充氣。決不能從泵的前級管路進行充氣。

3、選擇系統前級泵的大小時，應使渦輪分子泵的前級保持在分子流狀態下。

4、不能讓渦輪分子泵在低于額定工作轉速下運行。

5、分子泵入口應裝設防護網，以避免異物進入泵內損壞泵轉子和定子葉片。