薄膜真空計的結(jié)構(gòu)原理和測量方法

2022/10/26

薄膜真空計也是一種理想的全壓計，不受氣體種類的影響，且精度高、反應(yīng)快，溫度影響范圍小，可作為標(biāo)準(zhǔn)真空計使用。那它的原理又是怎樣的呢，一起來了解下。

　　一、薄膜真空計的測量方法

　　薄膜真空計屬于彈性變形真空計中的一種，它獲得的壓力參數(shù)，是通過真空計中膜片在壓力差作用下產(chǎn)生彈性變形量，經(jīng)過信號變送而來。具體的變形量的測量方式還有機械的、光學(xué)的以及電學(xué)的這些形式。其中，電測量方式可以實現(xiàn)連續(xù)地遠(yuǎn)距離測量，靈敏度高，變形量與電信號之間的變送方式有電感式、壓電式、電阻應(yīng)變式以及電容式這幾種。目前電容式的薄膜真空計應(yīng)用較為廣泛。下面，我們就來簡單了解下電容式薄膜真空計的簡單結(jié)構(gòu)原理。

　　二、薄膜真空計的結(jié)構(gòu)原理

　　電容式薄膜真空計主要由電容式壓力傳感器（電容式薄膜規(guī)管）和測量線路兩部分組成。

       薄膜規(guī)管的主要結(jié)構(gòu)包括兩個結(jié)構(gòu)完全相同的圓形固定電極和一個公用的膜片構(gòu)成的活動電極。活動電極薄膜將規(guī)管空間分成密封的兩個空間——測量室與參考室。固定電極和活動電極薄膜構(gòu)成差動電容器，并作為電橋的兩個臂布置在線路當(dāng)中。當(dāng)活動電極薄膜處于中間位置時，兩個電容器的電容量相等。如果當(dāng)活動電極薄膜由于壓差作用，開始偏離中間位置時，兩個電容器的電容量就會發(fā)生變化，使其中一個增大，一個減小。電容的變化會使電橋產(chǎn)生不平衡，因而會產(chǎn)生輸出電壓，將該輸出電壓經(jīng)放大器放大后，再由檢波器轉(zhuǎn)換成直流電壓后即可進(jìn)行測量、輸出。而不同的輸出電壓就對應(yīng)著不同的氣體壓力。

　　以上這些就是薄膜真空計測量真空壓力的簡單原理了。