真空系統的基本要求

2023/10/14

真空系統是指由真空泵、真空計及各種零件通過管道以適當的方式聯接，組合成能達到一定真空度要求的裝置。真空系統的基本要求都有哪些？

　　1、在被抽器件或工作室內獲得所需的極限真空和工作真空度。

　　極限真空度是指器件在無漏放氣時所達到的真空度，工作真空度是指在器件進行真空處理時所能維持的真空度。真空處理時往往要放出大量氣體，這時的工作真空度將顯著地低于極限真空度。極限真空度和工作真空度各有其重要性，它們從不同側面對器件質量產生影響。

　　例如：在用氧化物陰極器件的排氣真空系統中，電極除氣和陰極分解會大量出氣，如果工作真空度差，則可能出現電極被氧化及陰極激活欠佳的結果。

　　但器件最后封離時已基本上無漏放氣，器件內的真空度就取決于排氣真空系統的極限真空度。

　　2、為獲得某一工作真空度所需的時間

　　這決定于真空系統抽速的大小。提高抽速可縮短這一時間。大的工作室顯然需要大的抽速。

　　有時工作室雖然不大，但由于漏放氣嚴重，則真空系統也需要大的抽速，否則大量的漏放氣將大大降低真空度，使系統無法工作。

　　3、在被抽器件或工作室內有合適的殘氣成分

　　實踐證明，單純提高和保證極限真空度及工作真空度是不夠的，還應對殘余氣體成分有一定的要求。

　　例如：真空攝像器件，為了保持在一年壽命期內靈敏度的降低不大于要求，耐高壓真空開關管內，應不含有碳氫化合物分子等等。

　　真空系統的殘氣成分，如系統中無其它氣源，則主要取決于泵的特性。

　　4、真空系統還必須結構簡單、性能可靠、操作維護方便、價格便宜等

　　要滿足這些要求，必須從泵的選擇、管道尺寸的確定及布置、裝配工藝等多方面綜合考慮。上述這些基本要求經常是相互聯系的。

　　例如：由于真空系統總不免存在有微漏現象，故采用抽速大的泵比抽速小的泵能獲得較好的工作真空度，但大的泵價格貴，耗水、耗電多，故有合理選擇的問題。

　　儀器和小型的真空系統宜選用微型真空泵，成本低、效率高、噪音小，有的用戶選用流量較大的工業真空泵是不合適的。

　　5、自動化要求

　　隨著計算機技術的發展，用戶對真空系統的自動化要求也不斷提升。對于真空系統，自動控制主要是對真空泵流量和真空度的調節。

　　真空度常常通過調節真空泵流量、安裝節流閥、泄壓閥來控制。用節流的辦法能量損失大、產生額外噪音，最好是直接調節真空泵的轉速。

　　工業真空泵調速的方法有多種，主要分為兩類：

　　第一類是電機轉速不變，通過附加裝置改變真空泵的轉速，如變速箱調速；

　　第二類是直接改變電機的轉速，如可控硅串級調速、變頻調速等。

　　目前工業真空泵常用的方法是變頻調速，節能效果好，可實現無級調速，調速比大，調速精確，速度平穩。

　　對于適用于小型真空系統的微型真空泵，過去主要采用降壓調速，降壓運行附帶的好處是有利于延長泵和電機壽命。如果泵的負載較大時，降壓后容易造成電機無法啟動，使電機溫度上升，產生安全隱患。

　　總的說來，對于氣密性較好的真空系統，如果沒有經常性的放氣，內部也沒有蒸氣源，則可采用較小的、極限真空度較好的泵。但是，如果系統的漏放氣較多，則必須用提高抽速的辦法來保證其工作真空度，這時應采用較大抽速的泵，并盡可能增大管道流導，即選用短而粗的管道。