真空電鍍設備的監控方法

2022/08/18

隨著基礎工業及高新技術產品的發展，對優質、高效表面改性及涂層技術的需求向縱深延伸，國內外在該領域與相關學科相互促進的局勢下，表面改性與涂層工藝模擬和性能預測等方面都有著突破的進展。以下就和大家介紹一下真空電鍍設備的監控方法：

1、目視監控：使用眼睛監控，因為薄膜在生長的過程中，由于干涉現象會有顏色變化，我們就是根據顏色變化來控制膜厚度的，此種方式有一定的誤差，所以不是很準確，需要依靠經驗。
 
        2、極值監控法：當膜厚度增加的時候其反射率和穿透率會跟著起變化，當反射率或穿透率走到極值點的時候，就可以知道鍍膜之光學厚度ND是監控波長（入）的四分之一的整倍數。但是極值的方法誤差比較大，因為當反射率或者透過率在極值附近變化很慢，亦就是膜厚ND增加很多，R/T才有變化。反映比較靈敏的位置在八分之一波長處。
 
        3.定值監控法：此方法利用停鍍點不在監控波長四分之一波位，然后由計算機計算在波長一時總膜厚之反射率是多少，此即為停止鍍膜點。
 
        4.水晶振蕩監控：利用石英晶體振動頻率與其質量成反比的原理工作的。但是石英監控有一個不好之處就是當膜厚增加到一定厚度后，振動頻率不全然由于石英本身的特性使厚度與頻率之間有線性關系，此時必須使用新的石英振蕩片。