2022/03/08
1、臥式渦輪分子泵的結構特點
臥式渦輪分子泵特點是其轉子主軸水平布置。這種結構的分子泵是雙軸流的,吸氣口在兩組抽氣單元的中央,氣體吸入后,分別被左右兩側的葉列組合抽走。軸承分別裝在各抽氣單元的排氣側,見圖1。
圖1
這種型式泵的特點是抽氣時轉子受力均勻,軸承定位、受力狀態好,使用壽命長,且軸承更換過程中,轉子位置不動,維修方便。
2、立式渦輪分子泵的結構特點
立式渦輪分子泵結構如圖 2。
圖2
其轉子軸垂直安裝,只有一組抽氣組合葉列。轉子葉輪高速旋轉時,被抽氣體沿著轉子組和定子組自高真空端向低真空端壓縮,被驅向前級,由前級泵抽走。泵由泵殼、渦輪葉列組件和電動機等組成。現代渦輪分子泵轉子和定子之間的間隙較大,通常在 lmm 左右,因此泵工作時很安全。立式泵的裝配工藝要比臥式泵簡單,所以立式泵發展很快。
軸承潤滑方式有油脂潤滑、油繩潤滑和離心供油潤滑等方式。分子泵軸承潤滑油的性能必須具備以下三個條件,才能滿足泵的工作要求:
a、高速下具備良好的潤滑性能;
b、飽和蒸氣壓低于前級泵工作液的飽和蒸氣壓;
c、粘度適當,使之兼有軸承冷卻液的作用。
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