真空蒸鍍與濺射鍍膜優缺點是什么？

2022/03/02

濺射比蒸鍍和工作真空低一個數量級,所以膜層的含氣量要比蒸鍍高。

蒸鍍不適用于高溶點材料,如鉬,鎢。因為溶點高,蒸發太慢,而濺射的速度比蒸鍍快很多。

濺射不適用于低硬度材料,如非金屬材料。

濺射不適用于非導電材料。

蒸鍍不能控制厚度,而濺射可以用時間控制厚度。

蒸鍍不適應大規模的生產。

蒸鍍的電子動能比濺射小很多,雖然含氣量少,但是膜層易脫落。

濺射的膜均勻,蒸鍍的膜中心點厚,四周薄。

在國內蒸鍍工藝比濺射工藝成熟。