濺射角度對氧化鉻薄膜性能結(jié)構(gòu)的影響

2021/10/18

硬質(zhì)涂層對工件表面改性已經(jīng)成為現(xiàn)代先進(jìn)制造加工行業(yè)越來越重視的工藝,工件一般為復(fù)雜外形,保證工件表面涂層性能結(jié)構(gòu)的一致性尤為重要,為此,必須研究工件與靶源之間的相對位置對涂層結(jié)構(gòu)性能影響的關(guān)系,為涂層工藝的工程化應(yīng)用提供理論依據(jù).本文采用射頻反應(yīng)磁控濺射分別在高速鋼和單晶硅片基體上沉積了氧化鉻薄膜,研究了樣品表面與靶表面相對取向?qū)ν繉拥南嘟Y(jié)構(gòu)、表面和斷面形貌、力學(xué)性能、生長模式等因素的影響.結(jié)果表明濺射方法沉積涂層的臨界角度為45°,該臨界點(diǎn)決定了涂層的性質(zhì)與生長模式.